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多晶硅行业废气处理装置

所属类别:废气处理设备 点击次数:1504次 发布时间:2017-05-17

 多晶硅行业废气处理装置:

多晶硅行业废气处理装置工作原理

1)蒸发分离工段

    液态的四氯化硅经加压泵从储药泵入蒸发釜,釜下设蒸发器和再沸器,釜上为分离塔。蒸发器和再沸器外设夹套内设盘管。蒸汽在夹套和盘管内加热,四氯化硅在釜内气化。气态的四氯化硅通过再沸器的出口排出,经管道进入水解塔。

2)水解工段

     四氯化硅气体进入水解塔内与来自压滤系统的滤液进行反应。液相经雾化向下喷淋,与进入喷淋塔内的气态四氯化硅发生水解反应,生成硅酸、盐酸以及未完全吸收的氯化氢气体。硅酸与稀盐酸的固液混合物流到水解塔底部进入浆料池,经管道分批送至压滤系统;大量氯化氢气体及少量硅酸去分离釜,使氯化氢气体能够形成稳定的气流,去降膜吸收系统。

3)吸收工段

    自分离釜来的氯化氢气体进入降膜吸收系统及填料吸收系统,吸收为不同浓度的盐酸。

4)压滤工段

    四氯化硅水解反应生成的二氧化硅和稀盐酸固液混合物经搅拌洗涤后进入压滤机中进行压滤,最后滤饼送干燥系统。

5)干燥工段

    在干燥工段将含有大量水蒸气及少量物料颗粒的滤饼进入干燥系统的旋风分离器和布袋除尘器。经过旋风分离器,固体物料进入储料池中,热空气向上运动再通过脉冲袋式除尘器回收小部分物料后达标排放。

选型说明

    本系统需根据用户提供的四氯化硅成分、介质浓度、处理指标要求等进行设计,由我公司设计人员进行选型。

多晶硅行业废气处理装置使用领域

   本项成套设备用于多晶硅、单晶硅、太阳能发电、三氯氢硅合成等行业,处理四氯化硅、三氯氢硅和二氯二氢硅并回收再利用。

 

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